泉州三安半導體科技有限公司有機廢氣VOCs排氣治理工程簡介

（上海安居樂提供全部核心環保裝備并負責承建調試）

一、工程概況

1、項目地點：福建省泉州市南安市石井鎮院前村

工程名稱：泉州三安半導體科技有限公司有機廢氣排氣治理工程

處理廢氣量：45000m3/h，經轉輪吸附脫附后，經過安全型RTO焚燒爐處理量為5000m3/h。

2、廢氣成分：

PGME（丙二醇甲醚）、PGMEA（丙二醇甲醚醋酸酯）、IPA（異丙醇）、、、、等等

廢氣排放平均濃度：200 mg/m3；

廢氣排放流量：45000CMH（25℃）

驗收標準

VOCs 濃度在 100-200mg/m3 以上時，去除率 95%以上。

THC 濃度在 50~80 mg/m3 以上時，去除率 85~90%以上。

THC 濃度在 50 mg/m3以下時，出口平均濃度不得超過 10 mg/m3。

《福建省環保廳關于印發福建省重點行業揮發性有機物排放控制要求（試行）的通知》

（RTO 尾氣含氧量折算方法執行《揮發性有機物無組織排放控制標準》）

本項目驗收執行《大氣污染物綜合排放標準》中關于揮發性有機物排放指標要求。

3、工藝簡述：

廢氣經收集后，首先進入四級預處理系統（初、中、高效過濾器，半導體行業分子篩定制保護器）凈化去除廢氣中的粉塵顆粒物等，再導入冷凝系統、利用甲方冷卻水給廢氣降溫，最后由沸石濃縮轉輪吸附區吸附，濃縮轉輪吸附住的有機物，從轉輪脫附區域脫附出來進入 安全型RTO 高溫氧化處理，脫附熱風從冷卻風機（變頻）抽出，高溫熱旁通換熱加熱，達到脫附溫度要求，此溫度可通過高溫熱旁通比例閥門 4-20 mA 信號自行調節。從轉輪脫附出來的小風量，高濃度有機廢氣送入 安全型RTO 高溫氧化爐中，GRTO 出口分解后的潔凈氣體，可以直接從煙囪排出。

4節能：系統設計根據風量自行調節設備處理量及運行工況，達到節能的效果。